• 长治县国税局打造“税收政策定制专属包” 2019-09-19
  • 浙江省网络文明公益宣传创意作品展示 2019-09-19
  • “妃子笑”熟了! 东莞22个官方荔枝采摘点出炉 2019-09-17
  • 《侏罗纪世界2》将上映 “星爵”透露:和恐龙的关系“情同父女” 2019-09-12
  • 难民救援船将抵达西班牙 2019-09-10
  • 网上也能搜到各地的房价。北京还有十八万多一平米的房子。 2019-09-10
  • It’s NOT you. Mandarin is just too complicated. 2019-09-10
  • 全球最酷炫的5G应用,竟在钱塘江边的这栋大楼里 2019-08-30
  • 新飞电器破产拍卖 网友:我家的冰箱坏了找谁修 2019-08-28
  • 张汝伦:中国哲学如何在场 2019-08-25
  • 《父亲》和开放的中国(我与人民日报·纪念人民日报创刊70周年) 2019-08-16
  • 一周财政部原副部长张少春被查多名中管干部案件有进展 2019-08-12
  • 惊险!28吨浓亚硫酸泄露 消防官兵9小时排险 2019-08-12
  • 2018 Yorkville Exotic Car Show kicks off in Toronto - Culture News - CQNEWS 2019-08-12
  • 端午节小长假 南昌两站共发送旅客59万人 2019-08-10
  •  

    开奖生肖走势图: 芯片是如何被制造出来的?芯片光刻流程详解

    2019-02-18 17:23:29 来源:chinaaet
    标签:

    广东体育彩票11选五图 www.zrqb.net  

    集成电路的制造过程中,有一个重要的环节——光刻,正因为有了它,我们才能在微小的芯片上实现功能。现代刻划技术可以追溯到190年以前,1822年法国人Nicephore niepce在各种材料光照实验以后,开始试图复制一种刻蚀在油纸上的印痕(图案),他将油纸放在一块玻璃片上,玻片上涂有溶解在植物油中的沥青。经过2、3小时的日晒,透光部分的沥青明显变硬,而不透光部分沥青依然软并可被松香和植物油的混合液洗掉。通过用强酸刻蚀玻璃板,Niepce在1827年制作了一个d’Amboise主教的雕板相的复制品。

     

    Niepce的发明100多年后,即第二次世界大战期间才第一应用于制作印刷电路板,即在塑料板上制作铜线路。到1961年光刻法被用于在Si上制作大量的微小晶体管,当时分辨率5um,如今除可见光光刻之外,更出现了X-ray和荷电粒子刻划等更高分辨率方法。

     

    所谓光刻,根据维基百科的定义,这是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、SOS中的蓝宝石。

     

    光刻的基本原理是利用光致抗蚀剂(或称光刻胶)感光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点,将掩模板上的图形刻制到被加工表面上。

     

    光刻原理意图

     

    光刻不是一个简单的过程,它要经历很多步骤:

     

    光刻的工序

     

    下面我们来详细介绍一下光刻的工序:

    一、清洗硅片(Wafer Clean)

    清洗硅片的目的是去除污染物去除颗粒、减少针孔和其它缺陷,提高光刻胶黏附性

    基本步骤:化学清洗——漂洗——烘干。

     

     

    硅片经过不同工序加工后,其表面已受到严重沾污,一般讲硅片表面沾污大致可分在三类:

      

    A. 有机杂质沾污: 可通过有机试剂的溶解作用,结合超声波清洗技术来

    去除。

      

    B. 颗粒沾污:运用物理的方法可采机械擦洗或超声波清洗技术来去除粒径 ≥ 0.4 μm颗粒,利用兆声波可去除 ≥ 0.2 μm颗粒。

      

    C. 金属离子沾污:必须采用化学的方法才能清洗其沾污,硅片表面金属杂质沾污有两大类:

      

    a. 一类是沾污离子或原子通过吸附分散附着在硅片表面。

       

    b. 另一类是带正电的金属离子得到电子后面附着(尤如“电镀”)到硅片表面。

    硅抛光片的化学清洗目的就在于要去除这种沾污,一般可按下述办法进行清洗去除沾污。

     

    a. 使用强氧化剂使“电镀”附着到硅表面的金属离子、氧化成金属,溶解在清洗液中或吸附在硅片表面。

       

    b. 用无害的小直径强正离子(如H+)来替代吸附在硅片表面的金属离子,使之溶解于清洗液中。

       

    c. 用大量去离水进行超声波清洗,以排除溶液中的金属离子。

      

    自1970年美国RCA实验室提出的浸泡式RCA化学清洗工艺得到了广泛应用,1978年RCA实验室又推出兆声清洗工艺,近几年来以RCA清洗理论为基础的各种清洗技术不断被开发出来,例如:美国FSI公司推出离心喷淋式化学清洗技术、美国原CFM公司推出的Full-Flow systems封闭式溢流型清洗技术、美国VERTEQ公司推出的介于浸泡与封闭式之间的化学清洗技术(例Goldfinger Mach2清洗系统)、美国SSEC公司的双面檫洗技术(例M3304 DSS清洗系统)、 日本提出无药液的电介离子水清洗技术(用电介超纯离子水清洗)使抛光片表面洁净技术达到了新的水平、以HF / O3为基础的硅片化学清洗技术。

     

    二、预烘和底胶涂覆(Pre-bake and Primer Vapor)

    由于光刻胶中含有溶剂,所以对于涂好光刻胶的硅片需要在80度左右的。硅片脱水烘焙能去除圆片表面的潮气、增强光刻胶与表面的黏附性、通常大约100 °C。这是与底胶涂覆合并进行的。

     

    底胶涂覆增强光刻胶(PR)和圆片表面的黏附性。广泛使用:  (HMDS)六甲基二硅胺、在PR旋转涂覆前HMDS蒸气涂覆、PR涂覆前用冷却板冷却圆片。

     

    预烘和底胶蒸气涂覆

     

    三、光刻胶涂覆(Photoresist Coating)

    光刻胶涂覆通常的步骤是在涂光刻胶之前,先在900-1100度湿氧化。氧化层可以作为湿法刻蚀或B注入的膜版。作为光刻工艺自身的第一步,一薄层的对紫外光敏感的有机高分子化合物,即通常所说的光刻胶,要涂在样品表面(SiO2)。首先光刻胶被从容器中取出滴布到置于涂胶机中的样品表面,(由真空负压将样品固定在样品台上),样品然后高速旋转,转速由胶粘度和希望胶厚度确定。在这样的高速下,胶在离心力的作用下向边缘流动。

     

    涂胶工序是图形转换工艺中最初的也是重要的步骤。涂胶的质量直接影响到所加工器件的缺陷密度。为了保证线宽的重复性和接下去的显影时间,同一个样品的胶厚均匀性和不同样品间的胶厚一致性不应超过±5nm(对于1.5um胶厚为±0.3%)。

     

    光刻胶的目标厚度的确定主要考虑胶自身的化学特性以及所要复制图形中线条的及间隙的微细程度。太厚胶会导致边缘覆盖或连通、小丘或田亘状胶貌、使成品率下降。在MEMS中、胶厚(烤后)在0.5-2um之间,而对于特殊微结构制造,胶厚度有时希望1cm量级。在后者,旋转涂胶将被铸胶或等离子体胶聚合等方法取代。常规光刻胶涂布工序的优化需要考虑滴胶速度、滴胶量、转速、环境温度和湿度等,这些因素的稳定性很重要。

     

    在这里说一下,光刻胶的主要成分有一种聚合物(树脂)、敏化剂和溶剂。聚合物在被辐照时结构变化,溶剂使其能被甩胶并在样品表面形成薄膜,敏化剂控制聚合相的化学反应。不含有敏化剂的光刻胶有时称为单元或一元体系,而含有敏化剂使则称为二元体系。溶剂或其它添加物通常不计入元数,因为它们不直接参与光刻胶的光化学反应。

     

    根据性质的不一样,光刻胶可以分为正胶和负胶。     

     

    在工艺发展的早期,负胶一直在光刻工艺中占主导地位,随着VLSI IC和2~5微米图形尺寸的出现,负胶已不能满足要求。随后出现了正胶,但正胶的缺点是粘结能力差。

         

    用正胶需要改变掩膜版的极性,这并不是简单的图形翻转。因为用掩膜版和两种不同光刻胶结合,在晶园表面光刻得到的尺寸是不一样的,由于光在图形周围的衍射效应,使得用负胶和亮场掩膜版组合在光刻胶层上得到的图形尺寸要比掩膜版上的图形尺寸小。用正胶和暗场掩膜版组合会使光刻胶层上的图形尺寸变大。

     

    光刻胶涂覆

     

    四、前烘(Soft Bake)

    完成光刻胶的涂抹之后,需要进行软烘干操作,这一步骤也被称为前烘。前烘能够蒸发光刻胶中的溶剂溶剂、能使涂覆的光刻胶更薄。

     

    在液态的光刻胶中,溶剂成分占65%-85%。虽然在甩胶之后,液态的光刻胶已经成为固态的薄膜,但仍有10%-30%的溶剂,容易沾污灰尘。通过在较高温度下进行烘培,可以使溶剂从光刻胶中挥发出来(前烘后溶剂含量降至5%左右),从而降低了灰尘的沾污。同时,这一步骤还可以减轻因高速旋转形成的薄膜应力,从而提高光刻胶 衬底上的附着性。

     

    在前烘过程中,由于溶剂挥发,光刻胶厚度也会减薄,一般减薄的幅度为10%-20%左右。

     

    Baking Systems

     

    四、对准(Alignment)

    光刻对准技术是曝光前一个重要步骤作为光刻的三大核心技术之一,一般要求对准精度为最细线宽尺寸的 1/7---1/10。随着光刻分辨力的提高 ,对准精度要求也越来越高 ,例如针对 45am线宽尺寸 ,对准精度要求在5am 左右。

     

    受光刻分辨力提高的推动 ,对准技术也经历 迅速而多样的发展 。从对准原理上及标记结 构分类 ,对准技术从早期的投影光刻中的几何成像对准方式 ,包括视频图像对准、双目显微镜对准等,一直到后来的波带片对准方式 、干涉强度对准 、激光外差干涉以及莫尔条纹对准方式 。从对准信号上分 ,主要包括标记的显微图像对准 、基于光强信息的对准和基于相位信息对准。

     

     

    对准法则是第一次光刻只是把掩膜版上的Y轴与晶园上的平边成90º,如图所示。接下来的掩膜版都用对准标记与上一层带有图形的掩膜对准。对准标记是一个特殊的图形(见图),分布在每个芯片图形的边缘。经过光刻工艺对准标记就永远留在芯片表面,同时作为下一次对准使用。

     

    对准方法包括:

    a、预对准,通过硅片上的notch或者flat进行激光自动对准

    b、通过对准标志,位于切割槽上。另外层间对准,即套刻精度,保证图形与硅片上已经存在的图形之间的对准。

     
    关注与非网微信 ( ee-focus )
    限量版产业观察、行业动态、技术大餐每日推荐
    享受快时代的精品慢阅读
     

     

    继续阅读
    全球IC业大咖齐聚上海

    由工业和信息化部、上海市人民政府指导,中国半导体行业协会、中国电子信息产业发展研究院主办的“第二届全球IC企业家大会暨第十七届中国国际半导体博览会(IC China2019)”将于9月3日一5日在上海浦东嘉里大酒店(主论坛)、上海新国际博览中心(分论坛与展览)举办。

    宜兴中环 8 英寸硅片实现试生产,已具备成熟供应能力

    与非网8月29日讯,一年前,这里还是一块空地,如今,中环领先集成电路用大硅片项目一期现代化的8英寸硅片生产车间已拔地而起。

    “第二届全球IC企业家大会暨IC China2019”即将在上海召开

    由工业和信息化部、上海市人民政府指导,中国半导体行业协会、中国电子信息产业发展研究院主办的“第二届全球IC企业家大会暨第十七届中国国际半导体博览会(IC China2019)”将于9月3日一5日在上海浦东嘉里大酒店(主论坛)、上海新国际博览中心(分论坛与展览)举办。

    我国晶圆制造厂分布情况一览

    2018年度海关数据显示,中国集成电路(IC)进口金额超过3100亿美元,比2017年增长19.8%。作为国家重点战略兴新兴产业,集成电路产业链的技术突破,成为业界关注的焦点。

    做人工智能“先行者”,上海驶入“快车道”

    据悉,设立临港新片区不单单是对自由、开放、创新等核心关键词的扩大或延展,更是基于经济全球化的新态势、新特点,为迎接世界新科技革命、产业变革与我国转变经济发展方式的历史交汇期所做出的一项重要抉择。

    更多资讯
    “面板五虎”之一华映深陷财困,现有员工约 2100 人将全数解雇

    与非网8月30日讯,曾名列“面板五虎”之一的台湾面板制造大厂中华映管由于陷入财困,董事会29日决议,现有员工约2100人将全数解雇,预计60天后生效,仅必要人员将再回聘。

    A 股三大股指全线高开:国科微涨停,紫光国微涨幅 8.35%

    与非网8月30日讯,今日A股三大股指全线高开,逐步震荡走低,不过始终维持续震荡休整格局,整体波动幅度不大。

    与非网8月30日讯,昨天,苏州吴江汾湖开发区的英诺赛科(苏州)半导体有限公司芯片项目主厂房顺利封顶,预计2020年可实现规?;坎?。届时,苏州吴江将成为世界第三代半导体大规模生产中心,可创造高科技工作岗位超2000个。

    看四家阀门企业半年报:从中透露出了哪些秘密?
    看四家阀门企业半年报:从中透露出了哪些秘密?

    转眼之间,2019年已经过去了一大半,多家上市企业都发布了半年报,有的企业实现了业绩的稳定增长,有的企业则因为经营策略等原因业绩有所下滑。在阀门行业,也有四家阀门也于近日发布了半年报。

    大数据技术带来了更多的量化决策模型

    大数据正在改变组织决策的未来。阿莱因科技大学教授Belkacem Athamena撰写了一篇关于决策中大数据演变的白皮书。由于新的大数据技术使决策更加可靠,因此企业将比以往更加重视量化决策模型。

  • 长治县国税局打造“税收政策定制专属包” 2019-09-19
  • 浙江省网络文明公益宣传创意作品展示 2019-09-19
  • “妃子笑”熟了! 东莞22个官方荔枝采摘点出炉 2019-09-17
  • 《侏罗纪世界2》将上映 “星爵”透露:和恐龙的关系“情同父女” 2019-09-12
  • 难民救援船将抵达西班牙 2019-09-10
  • 网上也能搜到各地的房价。北京还有十八万多一平米的房子。 2019-09-10
  • It’s NOT you. Mandarin is just too complicated. 2019-09-10
  • 全球最酷炫的5G应用,竟在钱塘江边的这栋大楼里 2019-08-30
  • 新飞电器破产拍卖 网友:我家的冰箱坏了找谁修 2019-08-28
  • 张汝伦:中国哲学如何在场 2019-08-25
  • 《父亲》和开放的中国(我与人民日报·纪念人民日报创刊70周年) 2019-08-16
  • 一周财政部原副部长张少春被查多名中管干部案件有进展 2019-08-12
  • 惊险!28吨浓亚硫酸泄露 消防官兵9小时排险 2019-08-12
  • 2018 Yorkville Exotic Car Show kicks off in Toronto - Culture News - CQNEWS 2019-08-12
  • 端午节小长假 南昌两站共发送旅客59万人 2019-08-10
  • 快乐十分选一数投 陕西快乐 斗牛和庄斗怎么样可以赢 冀是哪个省的简称 cq9官网平台 重庆欢乐生肖开奖结果 大乐透走势图众彩30期 杀头杀尾公式规律 500彩票网财报 彩票双色球16007大奖号 体育彩票超级大乐透走势图 曾道人一年七次大公开 福建22选5开奖彩票 南来北往《二肖中特》实力资料 彩票官网往年148开奖号码