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  • 重要的半导体材料硅基础理论资料介绍
    [摘要]

    硅是典型的具有半导体性质的元素,是很重要的半导体材料。据统计, 目前半导体器件的95%以上用硅材料制作,集成电路99%以上是用硅材料制作。

    这个比例还在增大。尤其大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)、 甚大规模集成电路(ULSI)都是制作在高纯优质的硅单晶抛光片或外延片上。

    资源类型:pdf
    资源大?。?/span>2.87MB
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    上传时间:2018/11/08
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