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    [摘要]

    MEMS 是英文 Micro Electro Mechanical Systems 的缩写,即微电子机械系统,是利用微米/纳米技术基础,对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的 21 世纪前沿技术。它将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元,不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息采取行动。


    与传统机械系统相比,MEMS 系统具备以下优势:
    ①微型化和集成化:几何尺寸小,易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺的传感和敏感元件,并形成二维或三维的传感器阵列,再加上一体化集成的大规模集成电路,最终器件尺寸一般为毫米级。
    ②低能耗和低成本:采用一体化技术,能耗大大降低;并由于采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺,易于实现规?;?,成本低。
    ③高精度和长寿命:由于采用集成化形式,传感器性能均匀,各元件间配置协调,匹配良好,不需校正调整,提高了可靠性。
    ④动态性好:微型化、质量小、响应速度快、固有频率高,具有优异动态特性。

    资源类型:pdf
    资源大?。?/span>869.71KB
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    上传时间:2019/03/15
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