• 长治县国税局打造“税收政策定制专属包” 2019-09-19
  • 浙江省网络文明公益宣传创意作品展示 2019-09-19
  • “妃子笑”熟了! 东莞22个官方荔枝采摘点出炉 2019-09-17
  • 《侏罗纪世界2》将上映 “星爵”透露:和恐龙的关系“情同父女” 2019-09-12
  • 难民救援船将抵达西班牙 2019-09-10
  • 网上也能搜到各地的房价。北京还有十八万多一平米的房子。 2019-09-10
  • It’s NOT you. Mandarin is just too complicated. 2019-09-10
  • 全球最酷炫的5G应用,竟在钱塘江边的这栋大楼里 2019-08-30
  • 新飞电器破产拍卖 网友:我家的冰箱坏了找谁修 2019-08-28
  • 张汝伦:中国哲学如何在场 2019-08-25
  • 《父亲》和开放的中国(我与人民日报·纪念人民日报创刊70周年) 2019-08-16
  • 一周财政部原副部长张少春被查多名中管干部案件有进展 2019-08-12
  • 惊险!28吨浓亚硫酸泄露 消防官兵9小时排险 2019-08-12
  • 2018 Yorkville Exotic Car Show kicks off in Toronto - Culture News - CQNEWS 2019-08-12
  • 端午节小长假 南昌两站共发送旅客59万人 2019-08-10
  • 最全的MEMS行业研究报告
    [摘要]

    MEMS 是英文 Micro Electro Mechanical Systems 的缩写,即微电子机械系统,是利用微米/纳米技术基础,对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的 21 世纪前沿技术。它将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元,不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息采取行动。


    与传统机械系统相比,MEMS 系统具备以下优势:
    ①微型化和集成化:几何尺寸小,易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺的传感和敏感元件,并形成二维或三维的传感器阵列,再加上一体化集成的大规模集成电路,最终器件尺寸一般为毫米级。
    ②低能耗和低成本:采用一体化技术,能耗大大降低;并由于采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺,易于实现规?;?,成本低。
    ③高精度和长寿命:由于采用集成化形式,传感器性能均匀,各元件间配置协调,匹配良好,不需校正调整,提高了可靠性。
    ④动态性好:微型化、质量小、响应速度快、固有频率高,具有优异动态特性。

    资源类型:pdf
    资源大?。?/span>869.71KB
    所属分类:
    上传时间:2019/03/15
  • 长治县国税局打造“税收政策定制专属包” 2019-09-19
  • 浙江省网络文明公益宣传创意作品展示 2019-09-19
  • “妃子笑”熟了! 东莞22个官方荔枝采摘点出炉 2019-09-17
  • 《侏罗纪世界2》将上映 “星爵”透露:和恐龙的关系“情同父女” 2019-09-12
  • 难民救援船将抵达西班牙 2019-09-10
  • 网上也能搜到各地的房价。北京还有十八万多一平米的房子。 2019-09-10
  • It’s NOT you. Mandarin is just too complicated. 2019-09-10
  • 全球最酷炫的5G应用,竟在钱塘江边的这栋大楼里 2019-08-30
  • 新飞电器破产拍卖 网友:我家的冰箱坏了找谁修 2019-08-28
  • 张汝伦:中国哲学如何在场 2019-08-25
  • 《父亲》和开放的中国(我与人民日报·纪念人民日报创刊70周年) 2019-08-16
  • 一周财政部原副部长张少春被查多名中管干部案件有进展 2019-08-12
  • 惊险!28吨浓亚硫酸泄露 消防官兵9小时排险 2019-08-12
  • 2018 Yorkville Exotic Car Show kicks off in Toronto - Culture News - CQNEWS 2019-08-12
  • 端午节小长假 南昌两站共发送旅客59万人 2019-08-10
  • 羽毛球比赛服 安徽11选5开奖历史﹥ 全国足彩半全场开奖结果 七星彩专家杀号第三位 体育彩票超级大乐透中奖规则 贵州快三一天多少期 香港公司三肖中特 ◆大红鹰报码聊天室◆ 分分时时彩计划全天 广东快乐十分独胆计划 福彩快三安徽 湖北快三300期走势图 淘宝有卖色碟吗 内蒙古快3中奖助手 云彩店是合法的App吗